真空ポンプ（ドライ式）

油を、一切使用しない、クリーンな真空を、得ることができる、真空ポンプです。ダイヤフラム式や、スクロール式など、様々な、作動原理のものがあります。半導体製造プロセスや、医薬品工場など、油による汚染（オイルミスト）を嫌う、クリーンな環境での使用に、不可欠です。