キャリア（PFA）　6インチ

商品説明

特徴

●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。

仕様

●型番：A182-60MB-0215
●ウェハー径（mm）：150（6″）
●サイズ（mm）：143.38×177.8×171.45
●収納枚数：25枚
●連続使用限界温度：120℃
●材質：ナチュラルPFA（フッ素樹脂）
●高温ウェハー投入限界温度：290℃