ウェハーキャリア

商品説明

特徴

●300mmウェハー出荷容器です。
●SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。
●手動での開閉でも治具は不要です。

仕様

●ウェハー径（mm）：Φ300
●収納枚数：25枚
●材質：本体／ポリカーボネート、溝板／PBT（ポリブチレンテレフタレート）
●外寸法：（幅）389.5×（長さ）341.8×（高さ）330.5mm
●溝ピッチ：10mm
●フィルター（1枚）付き
●SEMI規格準拠