流量計付レギュレーター　4連式

商品説明

特徴

●ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。
●同時に3台（FMC-1）または4台（FMC-2）コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。

仕様

●タイプ：4連式
●サイズ（mm）：280×133×190
●＜圧力調整バルブ＞
●対象ガス：Ar・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類
●1次圧力：約0.98MPa（10kg/cm2）MAX
●流量：30L/minMax
●2次圧力：0～約0.49MPa（0～5kg/cm2）
●接続チューブ外径：Φ6mm＜流量計＞
●流量：10L/minMAX
●耐圧：約0.69MPa（7kg/cm2）
●耐熱：60℃MAX
●接続チューブ外径：Φ6mm
●ハウジング：PMMA（アクリル）