ウェハーシングル搬送容器SCCセット

商品説明

特徴

●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
●パッキン付きですので、気密性に優れています。

仕様

●サイズ（mm）：91×91×14
●適合ウエハー径（mm）：Φ75（3"）
●材質：カバー・ケース／ポリカーボネート、クッション／PBT（ポリブチレンテレフタレート）
●セット内容：本体・カバー・スプリング×各1枚
●※本商品はクリーンパックしています。