マスフローコントローラー 5SLM-N2 透明な本体が見える正面からの撮影で、接続口と計器がしっかりと確認できる状態。
マスフローコントローラー 5SLM-N2 金属製の本体が特徴の斜めから見た状態、配管接続口が明確に見える。
マスフローコントローラー 5SLM-N2 透明な本体が見える正面からの撮影で、接続口と計器がしっかりと確認できる状態。

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マスフローコントローラー 5SLM-N2

商品番号ASO-3-5072-02

1 個

102,791 円

1個102,791 円

3 個

304,828 円

1個101,609.3 円

5 個

502,273 円

1個100,454.6 円

10 個

993,258 円

1個99,325.8 円

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102,791

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商品仕様

商品番号ASO-3-5072-02
メーカー型番C1005
JAN4589645250422
メーカー名その他
梱包形態

1個入り / 完全梱包

3個入り / 完全梱包

5個入り / 完全梱包

10個入り / 完全梱包

商品説明

特徴


●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。

仕様


●フルスケール流量:5SLM-N2
●ガス種類:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●応答性:6sec
●流量制御範囲:5~100%FS
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/Oノーマルオープン
●再現性:±0.2%FS
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続:1/4in.SWL相当
●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:127×25.5×100mm

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