マスフローコントローラー　5SLM-N2

商品説明

特徴

●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。

仕様

●フルスケール流量：5SLM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm